超精加工：

利用裝在振動頭上的細粒度油石對精加工表面進行的精整加工（見切削加工）。超精加工一般安排在精磨工序后進行，其加工余量僅幾微米，適于加工曲軸、軋輥、軸承環(huán)和各種精密零件的外圓、內(nèi)圓、平面、溝道表面和球面等。

超精密加工就是在超精密機床設(shè)備上，利用零件與刀具之間產(chǎn)生的具有嚴格的約束的相對運動，對材料進行微量切削，以獲得極高形狀精度和表面光潔度的加工過程。其精度從微米到亞微米，乃至納米，其應(yīng)用范圍日趨 廣泛，在高技術(shù)領(lǐng)域和軍用工業(yè)以及民用工業(yè)中都有廣泛應(yīng)用，尤其是電氣自動化領(lǐng)域，如超大規(guī)模集成電路，高精度磁盤，精密雷達，導(dǎo)彈火控系統(tǒng)，精密機床，精密儀器，錄像機磁頭，復(fù)印機磁鼓，煤氣灶轉(zhuǎn)閥等都要采用超精密加工技術(shù)。它與當代一些主要科學(xué)技術(shù)的發(fā)展有密切的聯(lián)系，是當代科學(xué)發(fā)展的一個重要環(huán)節(jié)；而且超精密加工技術(shù)的發(fā)展也促進了機械，液壓，電子，半導(dǎo)體，光學(xué)，傳感器和測量技術(shù)以及材料科學(xué)的發(fā)展。